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环境控制
H-aquare AHWT水平晶...
T台式自动散装晶圆转移工具。晶圆在两个盒之间水平"滑动转移"。大多数尺寸都与高轮廓和薄型盒兼容。
H-square Flat Al...
台式自动EZ导™轨对准器批量对齐晶圆平面，精度为+/- 1°。16 位平面位置开关允许在常见的行业最终平坦位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制，使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件，便于维护和清洁。
H-square Notch A...
台式自动NFEZ导轨™对准器可将晶圆槽口对准至+/- 1°精度。16位缺口位置开关允许在常见的行业最终缺口位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制，使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件，便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级（FS209E 1 级）;防静电结构;按顺序指定盒式磁带型号。
PMS空气粒子计数器Lasair...
PMS发布新款LasairPro空气粒子计数器，在已有Lasair III粒子计数器的基础上研发而成，作为 PMS的新款旗舰机型，LasairPro空气粒子计数器支持多种应用，包括洁净区监测（便携和远程）和分级，同时满足国际洁净室认证标准。
Bilz主动消磁系统
Bilz为电子显微镜（SEM，TEM，FIB），磁共振成像（MRI），纳米技术和生物磁性检查等高灵敏度设备和应用提供磁场测量以及有效可靠的AC + DC磁场消除系统。