CCU-010是一种紧凑型全自动溅射镀膜机和碳镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
CCU-010 LV 低压紧凑型真空镀膜系统专为精细真空应用而设计。模块化概念允许随后转换为高真空装置。