六硼化镧(LaB6)是最好的热离子发射材料之一,因为它的功函数低,熔点高。DENKA LaB6阴极作为电子显微镜和电子束平版印刷仪的电子源而享有盛誉。
DENKA TFE 是一种 ZrO/W 发射器,通过用吸收的锆和氧层覆盖其单晶钨针的表面,钨的功函数降低。由于其亮度比单晶LaB6阴极高100倍,并且发射电子的能量宽度很小,即使在低光束电压下,探头也可以聚焦得更小。因此,DENKA TFE最适合半导体材料和器件的表面观察。此外,由于其极其稳定的发射电流和较长的使用寿命,DENKA TFE用于各种电子束应用设备,如半导体检测仪和电子束光刻设备。