T台式自动散装晶圆转移工具。晶圆在两个盒之间水平"滑动转移"。大多数尺寸都与高轮廓和薄型盒兼容。
台式自动EZ导™轨对准器批量对齐晶圆平面,精度为+/- 1°。16 位平面位置开关允许在常见的行业最终平坦位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制,使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件,便于维护和清洁。
台式自动NFEZ导轨™对准器可将晶圆槽口对准至+/- 1°精度。16位缺口位置开关允许在常见的行业最终缺口位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制,使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件,便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级(FS209E 1 级);防静电结构;按顺序指定盒式磁带型号。