日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000
日立高分辨冷场发射扫描电镜SU9000是世界上最高二次电子分辨率(0.4nm@30kV)和STEM分辨率(0.34nm@30kV)的扫描电镜.它采取了独特的真空系统和电子光学系统,不仅分辨率性能优异,而且作为冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作,可以快速稳定的进行超高分辨成像.
型 号:SU-9000 / 1724
品 牌:Hitachi
产 地:日本
设备特点:专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。
- 产品特点
- 技术文章
- 相关产品
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kV (SE)
1.2 nm / 1 kV (SE)
0.34 nm / 30 kV (STEM)
用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
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