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DENKA TFE电镜场发射钨灯丝
DENKA TFE 是一种 ZrO/W 发射器，通过用吸收的锆和氧层覆盖其单晶钨针的表面，钨的功函数降低。由于其亮度比单晶LaB6阴极高100倍，并且发射电子的能量宽度很小，即使在低光束电压下，探头也可以聚焦得更小。因此，DENKA TFE最适合半导体材料和器件的表面观察。此外，由于其极其稳定的发射电流和较长的使用寿命，DENKA TFE用于各种电子束应用设备，如半导体检测仪和电子束光刻设备。
型 号：TFE / 2450
品 牌：DENKA
产 地：日本
产品特点：由于其先进的针加工技术，它可以响应很宽的尖端半径范围。超高质量的一致性保证了发射特性的高再现性。喷枪的内置服务，也可以与芯片、抑制器和抽排电极集成，以模块形式提供。
使用范围：高分辨率扫描电子显微镜（SEM）、分析透射电镜（AEM）、半导体检测仪（CD-SEM、DR-SEM、EBI）和电子束石版印刷设备
- 产品特点
- 技术文章
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DENKA TFE 是一种 ZrO/W 发射器，通过用吸收的锆和氧层覆盖其单晶钨针的表面，钨的功函数降低。由于其亮度比单晶LaB6阴极高100倍，并且发射电子的能量宽度很小，即使在低光束电压下，探头也可以聚焦得更小。因此，DENKA TFE最适合半导体材料和器件的表面观察。此外，由于其极其稳定的发射电流和较长的使用寿命，DENKA TFE用于各种电子束应用设备，如半导体检测仪和电子束光刻设备。
Grade
• DENKA TFE 174C SE : for SEM application
• DENKA TFE 174C TE : for TEM application
Technical data
• Operating temperature: ≤1850K. 1750-1800K recommended.
• Operating pressure : ≤1.3x10-6Pa (1x10-8Torr).
Operation ≤2.7x10-7Pa (2x10-9Torr) recommended.
• Tip radius 174C SE : 0.4-0.6µm
174C TE : 0.7-0.9µm
• Filament current at 1800K : ≤ 2.60Α
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