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离子溅射仪维修 Hitachi MC1000喷金仪

我公司由多位资深工程师创立,针对多品牌离子溅射仪提供专业维修服务,同时提供相应的技术指导,关键技术研发等。

型 号:MC1000 / 500
品 牌:
产 地:日本

此次维修主要解决mc1000抽气时间过长,溅射整个过程将近15分钟,严重影响电镜的制样效率,可通过对所有的进气接口进行氦气捡漏,发现漏气点进行更换配件并进行强化密封,另外还要对真空进行校准,以恢复其出厂状态。

磁控离子溅射可提高溅射速率,提高靶材的利用率,降低溅射对样品的热损伤。

咨询电话:021-5980 5057

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