电镜搬迁-赛默飞 Apreo C 高分辨场发射扫描电镜

电子显微镜对振动和外来杂散磁场的干扰要求比较严格，所以扫描电镜移机过程中对振动和碰撞带来的影响要重点关注，同时要固定或拆卸电镜上的附件，如EDS等。

目前的高分辨场发射扫描电镜是有电子枪、电磁透镜、样品仓和真空系统、控制电路，以及控制计算机和外围辅助设施等部件组装而成的。场发射电子因在10-7Pa的超高真空中使用，在短距离和短时间的移机的过程中，无需对电子枪进行放真空，让其保证高真空状态，保证其原有的性能和寿命。

对于电镜移机地点的选择，应参考电镜的平面布置图的基础上，还应留有充分的的余量，保证后期维修和保养的操作空间。

对于Apreo C场发射扫描电镜应抱枕电镜室的门洞至少保证90cm以上的宽度，保证电镜能够顺利的进出，如有必要宁可拆门，也不能碰撞电镜主机。同时对于扫描电镜还应有专门独立地线，良好的接地为一旦设备有电路故障或漏电提供放电通道，这不仅为保护人身安全起重要作用，而且可以防止设备积累静电荷和稳定电子线路的工作点。为了保证扫描电镜和能谱仪的热稳定性，建议采用人工小气候，最佳室温应控制到20-25℃之间，不结露，而且温度要保持相对稳定。同时也抱枕配电间的温湿度控制，注意观察冷却循环水机的温度。

扫描电镜搬迁完成后，主要检测电子枪的工作真空度和电子枪的运行状况，依次启动一级泵，二级泵和离子泵，通常注意检查仪器的地洞抽真空的时间，更换样品抽真空的时间，对放大倍率数值和放大倍率的重新性进行检查，对于配备EDS的用户，需要对能谱仪的面扫描进行使用，重点关注能谱探头的在电镜舱室的位置的变化，避免碰到电镜的探头。

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