H-square Notch Aligners缺口晶圆对准器
台式自动NFEZ导轨™对准器可将晶圆槽口对准至+/- 1°精度。16位缺口位置开关允许在常见的行业最终缺口位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制,使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件,便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级(FS209E 1 级);防静电结构;按顺序指定盒式磁带型号。
型 号:ANFEZ / 3961
品 牌:H-Square
产 地:美国
应用行业:半导体行业,晶圆加工,微电子生产
行业经验:长期为半导体、光电、LED、MEMS、面板显示器、光伏和医疗电子等行业,提供洁净室货器件移动处理方案。
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产品描述:
台式自动NFEZ导轨™对准器可将晶圆槽口对准至+/- 1°精度。16位缺口位置开关允许在常见的行业最终缺口位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制,使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件,便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级(FS209E 1 级);防静电结构;按顺序指定盒式磁带型号。
技术参数:
自动ANFEZ
精度可达±1°
2M循环
防静电设计
晶圆尺寸:150/200
16位notch定位旋钮可调整定位导电的最终notch位置
Throughput:100cassettes/h
手动NFEZ
成本低、效率高
可快速拆卸滚轮组件,便于维护和清洗
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