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H-square Flat Aligners切边晶圆对准器
台式自动EZ导™轨对准器批量对齐晶圆平面，精度为+/- 1°。16 位平面位置开关允许在常见的行业最终平坦位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制，使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件，便于维护和清洁。
型 号：AFEZ / 798
品 牌：H-Square
产 地：美国
应用行业:半导体行业，晶圆加工，微电子生产
行业经验：长期为半导体、光电、LED、MEMS、面板显示器、光伏和医疗电子等行业，提供洁净室货器件移动处理方案。
- 产品特点
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产品描述：
台式自动EZ导™轨对准器批量对齐晶圆平面，精度为+/- 1°。16 位平面位置开关允许在常见的行业最终平坦位置进行定位。ESD安全由静电耗散材料控制，使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒组件，便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级（FS209E 1 级）;防静电结构;按顺序指定盒式磁带型号。
技术参数：
自动ANFEZ
精度可达±1°
2M循环
防静电设计
晶圆尺寸：76、100、125/150/200
16位notch定位旋钮可调整定位导电的最终notch位置
Throughput：100cassettes/h
手动MFEZ
晶圆尺寸：76/100/150/200
成本低、效率高
可快速拆卸滚轮组件，便于维护和清洗
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