EBIC 2.0 电子束感生电流

扫描控制器和数据采集接口是进行高质量定量EBIC测量的最大因素。我们的系统非常适合在原位设备上进行实验，其应用远远超出了简单的成像缺陷和损耗区域。

我们专门设计了 Mighty EBIC 2.0 来获取最小的信号测量值。在最高增益设置下，我们可以实现0.76fA的电流分辨率。使用18位模数转换器意味着我们的灵敏度是大多数其他扫描控制器的64倍以上，并且在前置放大器的每个增益设置下具有108 dB的更宽的动态范围。

通过8个成像输入，在+-10V范围内同时采样，我们可以收集
来自二次电子（SE），反向散射电子（BSE）和EBIC信号的信号，这些信号在位置上直接相关，而不会影响我们的确定性时序。我们可以直接与锁相放大器接口，并捕获幅度和相位分量。

我们可以缩放扫描控制电压输出，以与任何具有外部扫描控制器接口的SEM配合使用。成像采样大小仅受系统内存限制，8000 x 8000 张图像或更大。您可以使用数字变焦更新感兴趣的区域，以仅以所需的分辨率测量所需的数据。

有两个辅助电压输出，范围为+-10V，用于偏置、反加或电流电压扫描到器件。