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DENKA LaB6 扫描电镜电子源

六硼化镧(LaB6)是最好的热离子发射材料之一,因为它的功函数低,熔点高。DENKA LaB6阴极作为电子显微镜和电子束平版印刷仪的电子源而享有盛誉。

型 号:LaB6 / 1391
品 牌:
产 地:日本

产品特性:通过浮区技术生长的高纯度和质量的单晶,提供稳定的发射特性。精密的加工涵盖各种锥角和尺寸。它是唯一可以提供半球形尖端的Denka。

使用范围:电子显微镜(SEM,TEM),表面分析仪器(EPMA,AES),电子束石版印刷设备

咨询电话:021-5980 5057

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六硼化镧(LaB6)是最好的热离子发射材料之一,因为它的功率数值低,熔点高。DENKA LaB6阴极作为电子显微镜和电子束平版印刷仪的电子源而享有盛誉。
通过浮区技术生长的高纯度和质量的单晶,提供稳定的发射特性。精密的加工涵盖各种锥角和尺寸。它是唯一可以提供半球形尖端的Denka。
规格型号:
JEOL base type : Model 3 LKS (for SEM/TEM)
: Model 3 LKSH (for TEM)
• LEO base type (Leica / Cambridge): Model 3 CA
(Carl Zeiss ) : Model 3 Z2

技术参数:
• Operating temperature: ≤ 1600°C. Operation ≤ 1550°C strongly recommended.
• Operating pressure: ≤ 2.7x10-4Pa (2x10-6Torr).
Operation ≤ 2.7x10-5Pa (2x10-7Torr) strongly recommended.
• Heating electrical power : Power consumption ≤ 8.0W at 1550°C
• Typical life : 500-2,000hr (depending on operating condition and circumstance)
• LaB6 tip shape : 90° 15µmR (standard type)
90° 20µmφ (long lifetime

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DENKA TFE 是一种 ZrO/W 发射器,通过用吸收的锆和氧层覆盖其单晶钨针的表面,钨的功函数降低。由于其亮度比单晶LaB6阴极高100倍,并且发射电子的能量宽度很小,即使在低光束电压下,探头也可以聚焦得更小。因此,DENKA TFE最适合半导体材料和器件的表面观察。此外,由于其极其稳定的发射电流和较长的使用寿命,DENKA TFE用于各种电子束应用设备,如半导体检测仪和电子束光刻设备。