Safematic ccu-010低真空离子溅射仪

产品描述：
CCU-010 LV专为SEM和EDX的常规高质量溅射和/或碳镀膜而设计。模块化概念允许随后转换为高真空镀膜系统。
磁控溅射镀膜机和碳镀膜机，可在一台设备内进行等离子体处理，是的，这可以通过我们的桌面真空镀膜系统实现。只需更换工艺头，您就可以轻松地为所有这些应用配置设备。根据您的要求调整设备或随后扩展功能。靠近样品的涂层厚度监测仪是标准配件，可以精确地监测和控制碳和金属膜的膜厚。

更高效
使用高质量的材料和组件与创新理念相结合，可以缩短加工时间。通过现代用户界面创建配方，并使用自动模式可靠且可重复地生产薄涂层。
针对高真空优化的高效气体控制可减少工艺气体的消耗。目标直径为 54 mm，目标利用率高，可节省易损件的费用。

紧凑实用
由于尺寸小，节省了宝贵的实验室空间。重量已降至最低，以降低运输成本。标准化的小法兰快速连接（"ISO-KF"）充当连接的接口。

简单方便
打开包装，连接，开始！消除高昂的启动成本。即插即用概念允许您自己启动设备。您只需要连接电源和工艺气体。由于集成了USB服务接口，服务技术人员可以运行快速错误分析。模块化设置允许有针对性地更换有缺陷的组件。
产品特点：
可靠、坚固的基本单元
轻质铝制底座，占地面积小
集成真空测量（皮拉尼、冷阴极真空计）
玻璃工艺腔室∅ 105mm（DN 100 ISO-KF 兼容），带有指示工作距离的刻度
样品台，高度可调，可倾斜（∅80mm），用于存放样品。无需工具即可轻松拆卸工作台以进行清洁。
速度控制旋转或行星齿轮台，具有用于存放样品的不同选项（可选）
集成薄膜厚度监视器，可在两个位置（中心/边缘）使用
等离子体处理选项（蚀刻）
带安全监控的内爆防护装置
宽范围电源 （90-260 VAC）
过程头标准接口（燃气和电动）
自动过程头检测
5.7" TFT 触摸显示屏
配方可编程，保证结果可重复
具有存储/最新进程视图的历史记录功能
用于在断电时自动通风系统的功能。这可以防止系统被前级泵油污染。
直观的用户软件，具有许多实用功能
使用基于 Windows 的涂层 LAB 软件（可选）以图形方式表示过程数据
外部报警输出
USB 服务接口，便于分析和软件升级
交付中包括各种附件、工具、电缆和装配材料
法兰连接 （DN 25 ISO-KF），用于连接外部前级泵（低压版本）
电源插座和电缆，用于控制外部粗加工泵
两种工艺气体和排气的自动阀门控制
6 mm 插头连接，用于两种工艺气体和排气
可用作纯泵送装置