Safematic ccu-010hv高真空镀膜一体机
CCU-010是一种紧凑型全自动溅射镀膜机和碳镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
型 号:CCU-010-hv / 1560
品 牌:Safematic
产 地:瑞士
真空互联:CCU-010 涂层设备具有两种型号. CCU-010 LV主要是用于SEM and EDX的常规高质量溅射和碳图层, CCU-010 HV 高真空系统覆盖了所有最高性能的扫描电子显微镜、透射电镜和薄膜应用。模块化设计让常规真空系统转换到高真空系统非常方便。 The thoroughly design relating to materials, surfaces and profiles results in extraordinarily short process times.两个预留的标准法兰口可以让您的设备轻松的连接到第三方设备上。
产品特点:自动动阀门控制两种气体的排放过程,可选择速度控制旋转或行星齿轮台,用于固定不同类型的试样和样品台。视觉化设计的用户软件界面,具有多种一键功能操作。
- 产品特点
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产品详情:
CCU-010是一种紧凑型全自动溅射镀膜机和碳镀膜机,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。CCU-010有一个静态样品台,包括高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。.
•高性能溅射、碳涂层和等离子处理
•获得专利的碳线轴–最多50个碳涂层,无需用户干预
•独特的即插即用溅射和碳涂层模块
•一流的真空性能和快速泵送时间
•模块化设计、可靠、易于操作
•双位置薄膜厚度监测器,以适应不同的试样尺寸
•主动冷却溅射头确保了涂层质量并允许长时间运行
产品参数:
产品尺寸:58×36×35cm
重量:32kg
供电:100-240VAC
噪音:优于40dB
真空系统:无油泵+分子泵,优于2×10—6mbar
真空测量:数字真空计
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