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Agar 108型高真空离子溅射仪
Agar高真空离子溅射仪为场发射扫描电镜高分辨率成像镀膜困难样品时遇到的问题提供了真正的解决方案,在超高真空度下，更小的金属颗粒，无需担心对样品形貌的影响。
型 号：B7234 / 2656
品 牌：Agar scientific
产 地：英国
应用行业：高分子材料，半导体制造，晶圆生产，微电子加工等。
仪器特点:
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产品描述
Agar高分辨率溅射镀膜机为FEG SEM成像镀膜困难样品时遇到的问题提供了真正的解决方案。为了最大限度地减少晶粒尺寸的影响，涂布机可以完全控制厚度和沉积条件。涡轮分子式阻力泵为溅射非贵金属提供了所需的高真空，同时具有出色的气体处理特性。磁控溅射头具有溅射铬所需的高电流能力，标配用于目标调节的源快门。
带倾斜度的旋转行星载物台可确保高度轮廓的样品均匀涂覆。这确保了可以应用最小的涂层厚度，在不影响精细试样细节的情况下提供导电性。双高度150mm直径的工作腔室可轻松调节工作距离。
集成的端接膜厚度监测仪允许对涂层厚度进行严格控制，并针对重复样品进行再现。
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Safematic ccu-010hv高真空镀膜一体机
CCU-010是一种紧凑型全自动溅射镀膜机和碳镀膜机，使用非常简单。由于独特的插件概念，该设备很容易配置溅射或蒸发，只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
Safematic ccu-010低真空离子溅射仪
CCU-010 LV 低压紧凑型真空镀膜系统专为精细真空应用而设计。模块化概念允许随后转换为高真空装置。
Agar108型离子溅射仪
Agar Scientific系列真空镀膜机为用户提供了广泛的选择，以满足支持SEM和TEM应用所需的所有镀膜要求。这些紧凑的台式镀膜单元按照高规格制造，并采用了微处理器技术。