Mcs系列扫描电镜可追溯源放大倍率校准标样

MCS 系列放大校准标准是独特、经济高效、范围广泛的 SEM 校准标准。这些功能齐全的实用校准标准可用于桌面SEM，标准SEM，FESEM，FIB，螺旋，SIMS和反射光显微镜系统中的放大度校准或关键尺寸测量。

MCS 校准标准品提供两种类型的校准范围，既有标准，有证书可追溯性，也可以选择单独的校准证书：

MCS-1，刻度范围从2.5毫米到1μm;非常适合桌面和紧凑型 SEM，可实现 10 倍至 20，000 倍的放大倍率。
我们提供可追溯和认证的版本
MCS-0.1，刻度范围从2.5mm到100nm;SEM、FESEM 和 FIB 系统的理想选择，可覆盖 10 倍至 200，000 倍放大倍率。
我们提供可追溯和认证的版本
MCS系列的功能采用最先进的MEMS制造技术制成，高对比度的铬沉积线适用于较大的特征，金丙铬用于低于2.5μm的较小特征。沉积的金确保了最佳的信噪比，以便进行校准。MCS系列的优点是：

在整个校准范围内实现前所未有的精度
所有功能都在一个超平坦平面上
硅质金属，具有出色的信噪比
功能范围更广，可精确校准低、中、高放大倍率范围
与 SE 和 BSE 成像兼容
全导电材料
易于转换特征大小
可通过等离子清洗进行清洗
所有NIST可追溯或可选认证MCS-0.1 校准标准是已停产的 SIRA 校准标准（仅使用 0.51 和 0.463μm 功能）的绝佳替代品，具有额外的优势。SIRA 标准的兼容特征尺寸为 50μm （5x10μm） 和 0.5μm （500nm）。