离子溅射仪

仪器简介：

离子溅射仪是上海禾早仪器有限公司旗下产品，离子溅射仪或是喷金仪是一种利用真空镀膜技术开发研制成高科技产品，作为扫描电镜所需要的一款制样仪器，可以配合扫描电子显微镜很方便的观测试样的微观形貌，从而提高试样的导电性和导热性。该仪器为全闭环真空设计配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。自动磁控离子溅射仪采用高性能旋真空泵快速获得<1Pa的真空环境，高精度的溅射电源采用恒流控制来保证高精细的膜层质量。同时平面磁控测射阴极减少等离子体对试样表面的轰击和热效应，高性能的平面磁控溅射阴极可实现多种靶材的选择 (Au、Pt、Ag、Pd等)，高精度的纳米涂层为纳米级别，可满足现代分析实验要求。

仪器参数：

1. 外形尺寸：530×300×320（mm）
2. 工作电压：100-250VAC 50/60Hz
3. 溅射电压：＜500V
4. 靶材尺寸：φ50×0.1(mm)
5. 控制模式：5 寸触摸屏程序控制
6. 主机功率：100W
7. 溅射电流：10-50mA ,控制精度 1mA
8. 溅射时间：0-600s，控制精度 1s
9. 工作真空：4-8Pa，显示精度 0.1Pa
10. 极限真空：＜1Pa
11. 真空测量：皮拉尼真空计
12. 真空腔体：φ120×100(mm)
13. 样品支架：φ90mm
14. 保护功能：电流、真空保护

仪器组成：

1 溅射源：采用低压平面磁控溅射，可溅射多种贵金属Au、Pt、Pd、Ag

2 溅射电源：恒流磁控DC溅射电源300-600V,Max50mA控制精度可达1mA

3 控制方式：采用触摸程序控制，具备全自动控制，一键操作，系统采用ARM架构，一体化集成界面，具备中英文操作界面

4真空腔体：130×100mm

5样品台：样品台φ65mm可升降，可同时放置12个标准样品台。

6数据处理：可用实时曲线显示溅射电流、溅射电压、靶材使用时间，真空系统使用状态等系统参数。

7真空系统：极限真空＜1Pa，采用旋叶真空泵。

8 真空测量：全量程皮拉尼数字真空计

9 溅射参数：控制溅射时间≤900s,控制精度1mA，采用恒压控制，工作真空2-8Pa

10 保护功能：具备电流保护和真空保护功能，在电流过大、真空度较差时保证设备安全

仪器特点：

磁控溅射的原理决定了其溅射速度高、样品温升小的特点，非常适用温度敏感样品如纤维、滤膜、高分子材料、电极制备等。

1.全数字显示5 寸液晶显示屏、全数字显示，简洁直观。

2.操作简紧凑单，产品轻便小巧，操作简单，仅需连接电源即可正常工作，使用者无需专业知识和专业培训

3.可直接放置12个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间

4.采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，电流调节精度为 1mA。真空调节精度为 1Pa，时间调节精度为 1s。可调节

5.低电压，稳定真空环境，可溅射多种常用金属金、铂、、银等

6.溅射颗粒可达纳米级别，溅射颗粒< 5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用

7.采用磁控溅射技术，利用平面磁场减少温度的变化，适用于温度敏感样品

8.配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全

9.长期运行，稳定可靠，无需特殊维护

10. 电流、压力、时间参数更改后系统可以保存当前设置参数，下一次上电即默认此参数，只需点击启动按钮即可，设备将会按照默认参数进行溅射，溅射完毕后自动破空，全程无需其他操作。

使用方法

1. 按照设备参数接入电源、气源（可选），确保接入电源、气源的稳定可靠。打开设备背部的电源总开关，打开设备上面的按钮开关，显示屏工作正常，系统自检。
2. 检查腔室压力，如腔室存在负压可点击破空按钮进行消除，等待腔室恢复至大气压即可打开上盖。
3. 放入样品台支架，并且根据样品情况酌情调整样品表面与靶材的距离，使两者之间间距为 20mm 左右为最佳。关闭上盖。
4. 在操作界面，根据样品情况以及所需要的镀膜质量调整设定真空、设定时间以及设定电流三个参数。（推荐值：真空 5Pa、时间 30s、电流 20mA）
5. 点击启动按钮，设备开始运行，触摸屏实时显示设备运行状态以及溅射参数等信息。
6. 设备溅射结束后会自动进行腔室破空，等待腔室恢复至大气压，停止按钮由灰色变为蓝色，文字由停止变为启动，图标也随之改变。至此一个完整的溅射流程结束。
7. 打开上盖，取出样品。

仪器安装

1. 靶材更换安装：靶头由屏蔽环、压环、靶材组成，更换靶材时需要先使用内六角旋松屏蔽环，然后旋转屏蔽环即可取下，再旋松压环螺丝，取出压环即可更换靶材。
2. 真空泵安装：首次使用真空泵需要加注润换油： 打开润滑油加注口，将随机附带机油加入。 2、通过油观察窗可以观察润滑油加入情况。
3. 油污过滤器安装 取下油雾过滤器的塑料封帽（注意进出气口方向），安装于真空泵排气口，中间使用 KF16 密封圈进行密封，并用 KF16 卡箍拧紧固定。
4. 气路连接：如设备现场具备通气条件，请使用外径 6mm 内径 4mm 的软气管，气体种类为氩气或氮气，如没有请正常通入空气即可。

 

性能指标

型号	G10-MC	GMC-100	G16-MC	G20-MC	T16-MC	G20-MV
真空腔体	120×100	130×100	160×120	160×120	160×120	160×120
溅射电压	300-600	300-600	300-600	300-700	200-700	200-700
样品台	60	65	80-100	80-100	80-100	80-100
溅射类型	磁控	磁控	磁控	磁控	磁控	磁控
溅射真空	2-10Pa	2-10Pa	2-10Pa	2-10Pa	0.05-2Pa	2-10Pa
控制方式	自动	自动	自动	自动	自动	自动
供电要求	220V/50Hz