什么是EBIC？(电子束感生电流)

EBIC（电子束感应电流）是一种微观技术，用于表征半导体材料和器件的电性能。研究地下电子结构并分析缺陷。

什么是 EBIC？
电子束感应电流（EBIC）是一种用于分析半导体电特性的技术。EBIC涉及测量样品暴露于电子束时流动的电流。

接近发电量的电荷的产生，漂移或重组的任何变化都可以作为对比度来测量。这揭示了材料或设备的局部，次表面电子结构。这是一种强大的技术，用于表征缺陷及其在材料和设备中的影响。对于标准EBIC，不需要偏置。

EBIC是如何工作的
EBIC涉及测量样品暴露于电子束时流动的电流。

当电子束与半导体相遇时，它会产生电子 - 空穴对。如果这些对的载流子扩散到具有内置电场的区域，则电子和空穴分离并流动。EBIC在连接外部电路时测量该电流。

在没有复合中心的材料中（自由电子和空穴湮灭的地方），电流是均匀的，因此几乎没有兴趣。然而，在电子和空穴重新组合的地方，电流会降低。这在EBIC图中产生了对比度，突出显示了半导体中（少数）载流子的流动。

EBAC
电子束吸收电流（EBAC）是一种显示样品局部电阻的相关技术。这对于识别电子设备中铜线的断裂以及电容器中的短路和击穿通道非常有用。

EBAC涉及测量在电子束和电探头之间流动的吸收电流。在外部电路中测得的电流与电路的电阻成正比。

EBIC的优势
评估器件制造的均匀性 – 检查 p-n 结和耗尽区域位置
优化加工技术 – 通过了解重组中心（如晶界、位错和沉淀物）的影响，构建更有效的设备
评估材料的质量 – 测量少数载流子扩散长度
快速定位故障 – 识别集成电路中的断线