肖特基场发射电子源

肖特基场发射（FE）源可用于许多品牌的聚焦电子束系统，包括SEM，TEM，AES，SAM，EPMA，E-BEAM光刻和CD-SEM系统。我们还能够根据客户规格制造定制/定制发射器。这些高质量的有限元光源是 FEI 和 Denka 风格有限元光源的出色且经济高效的直接替代方案。场发射电子源是一个热场发射器（TFE）阴极，在取向的单晶钨丝上有一层氧化锆，尖端非常锋利。尖端安装在发夹长丝上，用于将尖端保持在约1800K的温度。

尖端刚好穿透安装在组件周围的圆柱形抑制电极中的孔径孔。由于热激发和尖端的电场（由于尖端与提取电极之间的电位差），电子从尖端发射。肖特基尖端半径通常为0.3-0.6μm，以确保光源的高亮度。还可提供其他特定的客户要求（包括发射器半径）。