TESCAN扫描电镜可提供不同成像模式

扫描电子显微镜（SEM）的色谱柱设计包括电子枪，物镜，孔径或孔径条以及一两个聚光镜透镜。TESCAN在物镜顶部的色谱柱中集成了一个额外的透镜，可实现新的成像模式，并改进了LaB6、钨源和场发射SEM的性能。这个额外的镜头被称为中间镜头（IML）。

IML 模式
下面列出了不同的可用 IML 模式：

1. 高分辨率成像的分辨率模式
2. 用于大视场成像的场模式
3. 用于高焦深成像的深度模式
4. 用于选定区域电子通道和实时 3D 立体成像的光束摇摆模式（3D 模式）
5. 宽视场模式，用于宽视场成像和超低放大倍率

单击鼠标将允许在上述成像模式之间切换，因为它们是完全自动化的和计算机控制的模式。因此，可以在没有任何操作员干扰的情况下选择、安装或机械对齐塔中的组件。此外，样品工作距离可以自动更改。图1显示了每种成像模式的色谱柱设计。

图 1. 不同的 IML 模式

TESCAN SEM的放大倍率范围是商用SEM上最广泛的，从1x到1，000，000x。这意味着使用TESCAN SEM可以实现超低放大倍率"微距"成像和高分辨率成像。SEM能够在分析工作距离下扫描高达15mm的视野，在长工作距离下扫描超过100mm的视野。

深度模式
通过TESCAN的IML设计，显微镜可以达到超过100mm的高聚焦深度，这一值远远超出了载物台的工作距离范围。这适用于分析样品，例如具有多层泡泡和粗糙样品的泡沫。

宽视场模式
SEM被称为宽视场模式，因为IML在物镜关闭时充当物镜。由于IML放置在色谱柱中的物镜上方，因此与物镜相比，它离样品表面更远。因此，IML通过聚焦在更大的区域内，产生低至1倍的放大倍率。

用于电子通道的摇摆束模式
在光束摇摆模式下，电子束可以以不同的角度摇摆到样品上的一个点。此操作将生成菊池模式，如图 2 所示。这些图案与正在分析的样品中的结晶平面相连，揭示了它们的组成和细胞结构。

用于实时 3D 成像的光束摇摆模式

TESCAN SEM 是唯一可以捕获和存档实时 3D 立体图像的商用 SEM（图 3）。可以在更改放大倍率和在样品周围导航时查看实时3D图像。此外，TESCAN SEM是唯一可以提供集成定量3D重建和分析的SEM。

图 3. 实时 3D 立体成像示例

定量数字高程图可以从立体影像对创建，这要归功于可选的集成 MeXpackage 提供的完全集成的软件功能。TESCAN SEM使用光束倾斜技术自动采集立体图像。

可以使用系统创建样品表面的全面3D渲染，并用实际的SEM图像着色。此外，3D模型可以缩放，平移，倾斜和旋转。此外，还可以从数字高程地图中提取定量的体积、面积和剖面测量值。