日立离子研磨系统介绍-IM4000ll

离子束加工（平面&截面）
离子束加工是在真空条件下，离子枪中低压惰性气体离子化，出射的阳离子又经加速，获得具有一定速度的离子束投射到样品表面，由于离子带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，所以离子束比电子束具有更大的撞击动能，靠微观的机械撞击能量加工样品。
离子束加工的特点：
1.加工精度高；2.加工污染少；3.加工应力、热变形等极小；4.可加工软性、多孔、复杂样品。
离子束加工是一种超精密加工和微细加工技术，是一种原子级的加工方法，具有极高的加工平整度。
主要特点 New
1. 多用途加工
• 独立的平面和截面研磨功能
2. 高效率加工
• 最大加工速率>500μm/h
5. 简便的操作
• 触摸控制，高精度光镜定位
3. 强大的兼容性
• 大样品，多种样品台
4. 多种扩展附件
• 真空转移盒，冷冻样品台